荷兰光刻机是集光学、机械、电子、化学等多种技术于一体的高精密加工设备，其高度的自动化程度不仅能够保证晶圆加工过程中设备运行的稳定性和晶圆加工的效率，且能够满足半导体工业、纳米加工、武器制造、生物医学和光学等多个领域的应用需求。
荷兰光刻机加工的精度高，能够在超微米时代将纳米科技最终实现，制程更为精细。目前，它在我国微电子、集成电路、LED等行业的应用较为广泛。而且，荷兰光刻机对晶圆表面的容错率高、生产速度快，成品率非常高，是当前半导体产业加工制造的不可或缺的关键设备。
值得一提的是，荷兰光刻机在制造过程中还能保证生产环境的洁净程度，大幅度地降低了生产物料的损耗和废弃率，避免了滞留在晶体管表面的不纯物质等对器件性能的影响。因此，荷兰光刻机在我国半导体行业、光电行业的应用领域中正在逐步扩大。
